半導(dǎo)體設(shè)備是較為精密的儀器，搬運(yùn)前一定要做好搬運(yùn)方案以及設(shè)備防護(hù)。
如果搬運(yùn)入口較小，可向甲方了解設(shè)備特性是否可以將半導(dǎo)體設(shè)備放倒或拆卸，進(jìn)入入口后，用龍門(mén)架將設(shè)備回正。
確認(rèn)地面高度，如需將設(shè)備抬起，盡量使用平臺(tái)將半導(dǎo)體設(shè)備吊起。
搬運(yùn)路線(xiàn)鋪好均壓鋼板，防止單點(diǎn)受力將地面壓壞。
確認(rèn)設(shè)備定位位置地面是否加固，防止設(shè)備定位好以后將地面壓壞，從而造成設(shè)備傾倒或歪斜。
注意事項(xiàng)：
搬運(yùn)前需確認(rèn)好半導(dǎo)體設(shè)備尺寸以及搬運(yùn)入口尺寸，搬運(yùn)距離，如有臺(tái)階，需確認(rèn)臺(tái)階高度等各方面數(shù)據(jù)，做好危險(xiǎn)源排查以及應(yīng)急預(yù)案。
半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)入無(wú)塵室之前做好無(wú)塵處理
搬運(yùn)過(guò)程中如果需要上下臺(tái)階，可用平臺(tái)將半導(dǎo)體設(shè)備吊起，盡量不使用機(jī)動(dòng)叉車(chē)。因?yàn)榘雽?dǎo)體設(shè)備一般都需要搬入無(wú)塵車(chē)間內(nèi)，以免機(jī)動(dòng)叉車(chē)排出的廢氣污染車(chē)間或設(shè)備。
地面保護(hù)措施：對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備搬入路線(xiàn)的地面鋪好均壓鋼板，做無(wú)塵處理。方便半導(dǎo)體設(shè)備的搬入及定位。
搬運(yùn)方式：所有操作工人均需穿著無(wú)塵服作業(yè)，作業(yè)前做好無(wú)塵處理，用氣墊、液壓叉車(chē)等工具進(jìn)行搬運(yùn)。
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